一·真空晶體生長燒結爐設備用途
主要用于LED行業(yè)的寶石類晶體制備,氟化物類晶體生長,燒結,退火等處理
二·真空晶體生長燒結爐產品特點
1·模塊化設計,結構緊湊,外形美觀,
2·采用底部電動升降和鐘罩式爐體升降,結構精巧,方便,移動平穩(wěn)裝卸料方便
3· 采用觸摸屏+plc控制方式,自動化程度高,操作直觀,功能強大。
4· 在觸摸屏內可預存幾十種燒結工藝,一次編輯,以后直接調用使用,省去多次編輯工藝的麻煩,避免輸入錯誤,燒壞產品。
5· 燒結的溫度,真空度,等數據可實時記錄,也可隨時啟動停止記錄,減少無用數據,數據可查詢,可導出下載。
6· 燒結溫度高,用石墨發(fā)熱體,發(fā)熱均勻。
三·設備參數
1· 設備總功率:≤110Kw;電源電壓:3相380V,50Hz
2·加熱功率:80kw 三相380V(暫定)
2·溫度:1500℃
3·額定溫度:0~1400℃
4. 工作區(qū)尺寸:Ф500×300mm(直徑×高,)
5·爐體內徑Ф1000*1200mm(暫定)
6.測溫系統(tǒng): 鎢萊熱電偶
7.控溫精度: ±1℃
8.加熱區(qū): Ф540×600mm
9.下降速度: 慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)
快速升降50-200mm/min(帶手動升降)
10.中心軸有效行程/載重: ≤450mm/200kg
11.爐內充氣壓力: ≤0.03MPa